Une précision au micromètre : des vis à billes de haute précision pour la fabrication de semi-conducteurs
Dans la fabrication de semi-conducteurs, quelques micromètres seulement peuvent faire la différence entre une pièce conforme et un rebut. Les solutions d'entraînement conventionnelles atteignent rapidement leurs limites en raison des jeux mécaniques, des vibrations ou des variations de température. Les vis à billes de haute précision I&F proposées par GROB offrent une solution éprouvée à ces défis. Elles assurent le positionnement hautement dynamique et répétable des wafers et des masques dans les équipements de lithographie, d'inspection et d'assemblage.
Vis à billes de haute précision
Une précision et une fiabilité élevées pour les équipements sensibles de fabrication de semi-conducteurs
Grâce à des vis rectifiées, des tolérances serrées et des écrous préchargés en option, le jeu de retour et les erreurs de positionnement peuvent être considérablement réduits. Pour le concepteur, cela signifie que des exigences clairement définies, telles qu'une très grande répétabilité, un jeu minimal et des conditions de processus stables, sont satisfaites de manière fiable. Grâce à leur fonctionnement silencieux, à leur faible coefficient de frottement et à leur longue durée de vie, ces vis à billes conviennent parfaitement aux applications en salle blanche à cadence élevée. Des rapports de mesure, une qualité traçable et un accompagnement technique personnalisé complètent notre offre et font de GROB un partenaire fiable, notamment pour les équipements sensibles de la microélectronique.
